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不鏽鋼真空擴散泵

 

一 簡介:
    我公司生產的高真空擴散泵,是采用不鏽鋼材料製造,采用風冷散熱,結構小巧,美觀。該擴散泵的抽速快、反應也快。擴散泵在當今已經成為了電子工業、冶金工業、原子能工業等行業用於獲得高真空不可或缺的設備,除以上工業部門使用外,現在的高等院校、企業的高真空實驗室、有關的真空器件製造單位都有使用;它的功能就是幫您獲得更加高的真空度。
 
 技術指標:
      工作溫度:       5--40
      工作濕度:       小於85%
      電源指標:       220v, 200w
      風機指標:       220v,12w
      上口通徑:       KF50接口
      下口通徑:       KF16接口
      抽氣速率:       80L/s
      極限壓力:       1X10的-4Pa
      最大排氣壓力:   25Pa
      工作液:         275#矽油、274#或KS-3擴散泵油,內容量25ml
 
三  工作原理:
    當前級真空泵把擴散泵內的壓力抽至5帕左右的真空度後,在室溫下具有低飽和蒸汽壓的工作液,由擴散泵底部的加熱器加熱,產生的油蒸汽沿著蒸汽導管作向上運動,經塔形數級噴口定向高速噴出,將擴散在油蒸汽中的少量氣體帶到前級端,再由前級真空泵把該蒸汽排除到大氣中;當油蒸汽噴射在擴散泵內壁遇到冷卻後,又回流到泵的底部,由此重複工作,從而達到高真空的目地。
 
四 結構特征:
    擴散泵主要由外殼、泵芯、蒸發鍋、加熱器及冷卻風機組成。泵的外殼主要供安裝泵芯,阻隔大氣,以及冷凝油蒸汽的作用;泵芯主要用來形成油蒸汽的流路,並同時改變油蒸汽的方向;蒸發鍋和加熱器主要將油從液態升華為氣體狀態;冷卻風機主要是將擴散到泵的內壁的油蒸汽冷卻為液態狀態。
 
安裝操作:
    拆去泵進出口的蓋板,觀察內部零件的位置是否正確,然後將泵安裝到所需要的真空係統中,應垂直放立,不可斜歪或倒立,上口接真空係統,下口接前級泵,保證上下口的密封,接上220伏電源即可工作。
 
使用操作:
    將真空儀表的傳感器接入真空係統,開啟前級泵對擴散泵進行預抽,應在擴散泵最大排氣壓力25帕一下,一般在5帕左右,打開擴散泵的電源開關進行加熱,並同時打開冷卻風機進行冷卻。一般擴散泵初次加熱在40分鍾左右開始工作,極限真空-4帕左右。關機時應先關閉擴散泵加熱電源,過了15分鍾左右再關掉前級泵,冷卻風機。
 
注意事項:
    1.擴散泵下麵的加熱器不可與機殼等金屬導電體接觸,以防觸電或漏電。
    2.在工作過程中,不可破壞擴散泵的前級真空和基礎真空,以防擴散泵油的氧化。
    3.在工作過程中,不可停止冷卻風機進行幹燒,以防擴散泵油的氧化。
    4.擴散泵隻能抽除對泵及工作液無化學反應的無害氣體,如揮發性或高溫氣體,必須提前將被抽氣體進行冷卻。
 
維修維護:
    A.擴散泵不起作用:
    1.係統漏氣,超過允許漏率: 真空檢漏,消除漏孔。
    2.加熱器不起作用: 電爐絲燒壞或電路故障:更換加熱器,檢查線路,保險等。
    3.油加熱不足,油溫低: 電路功率小,電壓過低,加熱器與蒸發鍋接觸距離過大。
    4.前級壓力過大,係統或前級泵真空基礎差,不能滿足正常工作壓力,檢測係統和前級泵真空度。
    5.噴嘴鬆動: 重新緊固即可。
    B.抽氣速度慢:
    1.油溫低於270度:電路功率小,電壓過低,加熱器與蒸發鍋接觸距離過大。
    2.工作液過少:裝入相同型號的新油。
    3.泵芯安裝不正確:拆開重新固定,安裝。
    C.極限真空不好:
    1.真空係統漏氣,真空檢漏,消除漏孔。
    2.真空係統或泵內不清潔:清洗真空衛生處理。
    3.工作液氧化、裂化:更換新油。
    4.冷卻效果不好:檢查風機是否工作正常或周圍環境溫度過高。
    5.油量不合適:檢查油量是否過多或過少,應調整。


 

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